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文档标题:  砷化镓纳米柱阵列太赫兹波发射装置及制造方法
发布时间:  2022-05-09 12:04:19
文档简介:  本发明涉及太赫兹波发射装置,为提高纳米 超材料对光电导天线性能的调制能力,实现增大 光电流,提高天线的辐射功率和效率,同时减小 飞秒激光在半导体中的趋肤深度,使载流子漂移 运